部分メッキ レジストマスキング法とは？ メッキ加工のQ&A
- Q部分メッキ レジストマスキング法とは？どのような処理ですか。
- A
部分メッキのマスキング処理でのレジストマスキング法とは、レジスト塗布装置、露光装置などを使用して、製品に重ねたマスターマスクに光を照射させ、製品にマスクパターンを転写させて回路パターンや配線を正確に形成することが可能なマスキング方法です。
主要な工程は、
①レジスト塗布装置で基板など目的の製品の表面にレジスト材を塗布
②露光工程（露光装置を使用して、製品とマスターマスクに光を照射させて、製品にマスクパターンを精密に転写させます）→ 現像工程
③メッキ工程→ レジスト剥離工程となります。